Bases physiques de la technologie des semi-conducteurs :
Préparation des substrats semi-conducteurs
Dépôt de couches diélectriques
Dopage des dispositifs semi-conducteurs
Micro lithographie et gravure
Exemple de filière: le Transistor MOS auto-aligné sur silicium

Méthodes de caractérisation des semi-conducteurs
Introduction aux méthodes de caractérisation des semi-conducteurs
Méthodes électriques
Méthodes optiques
Analyses physico-chimiques
Analyse de surface par microscopie de proximité

Etre capable de caractériser tout type de matériaux;
Concevoir des matériaux ayant une fonctionnalité donnée, organiser et encadrer la caractérisation de ces matériaux;
Développer de nouveaux dispositifs intelligents

Understand all the process needed for the preparation of the silicon wafers Identify all the characterization and analyses techniques
Analyse the results of characterization
Make an appropriate technique choice to resolve a specific problem Design a process to reach the requirements for devices

Scientific publications