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Faculté de physique et ingénierie

Semiconducteurs inorganiques: circuits intégrés; technologie et caractérisation

  • Cours (CM) 16h
  • Cours intégrés (CI) -
  • Travaux dirigés (TD) -
  • Travaux pratiques (TP) -
  • Travail étudiant (TE) 48h

Langue de l'enseignement : Anglais

Description du contenu de l'enseignement

Bases physiques de la technologie des semi-conducteurs :
Préparation des substrats semi-conducteurs
Dépôt de couches diélectriques
Dopage des dispositifs semi-conducteurs
Micro lithographie et gravure
Exemple de filière: le Transistor MOS auto-aligné sur silicium

Méthodes de caractérisation des semi-conducteurs
Introduction aux méthodes de caractérisation des semi-conducteurs
Méthodes électriques
Méthodes optiques
Analyses physico-chimiques
Analyse de surface par microscopie de proximité

Compétences à acquérir

Etre capable de caractériser tout type de matériaux;
Concevoir des matériaux ayant une fonctionnalité donnée, organiser et encadrer la caractérisation de ces matériaux;
Développer de nouveaux dispositifs intelligents

Understand all the process needed for the preparation of the silicon wafers Identify all the characterization and analyses techniques
Analyse the results of characterization
Make an appropriate technique choice to resolve a specific problem Design a process to reach the requirements for devices

Bibliographie, lectures recommandées

Scientific publications

Contact

École européenne de chimie, polymères et matériaux (ECPM)

25, rue Becquerel
67087 STRASBOURG CEDEX
0368852600

Formulaire de contact

Responsable

Intervenants

Silviu-Mihail Colis


MASTER - Sciences et génie des matériaux

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Fondation Université de Strasbourg
Investissements d'Avenir
Ligue européenne des universités de recherche (LERU)
EUCOR, Le Campus européen
CNRS
Inserm Grand Est
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